| ステージ・本体 |
TKSP：真鍮、黒色クロムメッキ TAKS-100：アルミニウム合金、アルマイト処理（黒） |
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| 型式 | ステージ面 |
移動 ガイド |
回転範囲 |
質量 (g) |
同心度 | 面振れ | 平行度 | 表示分解能 | 位置分解能 |
許容荷重 (N) |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 粗動範囲 | 微動範囲 | ||||||||||
| TKSP-60 | φ60 | すり合わせ方式 | 360° | ±5° | 600 | 0.02 | 0.02 | 0.05 | 1° | 1' | 68.6 |
| TAKS-100 | φ98 | すり合わせ方式 | 360° | ±5° | 700 | 0.02 | 0.02 | 0.05 | 5' | 1' | 68.6 |
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